Dra. Claudia Reyes Betanzo

Correo: creyes@inaoep.mx

Extensión: 2107

Información Curricular:

Doctorado en Microelectróncia: Universidad Estatal de Campinas, Brasil - 2003.
Título de Tesis: "Grabado por Plasma para Tecnología CMOS y Microsistemas"
Maestría en Dispositivos Semiconductores: Universidad Autónoma de Puebla - 1997.
Título de Tesis: "Método de Abeles Modificado: Una técnica sensible para determinar el índice de refracción de Heteroestructuras"
Licenciatura en Electrónica: Universidad Autónoma de Puebla - 1996.
Título de Tesis: "Indice de Refracción de Heteroestructuras"

Líneas de Investigación:

Tecnologías de fabricación para dispositivos y circuitos integrados

Proyectos:

• Fabricación de Dispositivos nanométricos usando un sistema híbrido de grabado seco en configuración RIE/ICP. CONACyT
• Responsable de la instalación y puesta en operación de sistemas de grabado seco del Laboratorio de Innovación MEMS a partir de 2004.
• Participación en el Programa de Desarrollo de Tecnología en Sistemas Microelectromecánicos como asesor docente en el Diplomado MEMS.

Tesis:

Licenciatura
“Caracterización de un sistema de grabado seco en configuraciones RIE/ICP”. Arturo Pérez Trejo, Instituto Tecnológico de Veracruz, 2006.
Maestría
“Micromaquinado de silicio monocristalino mediante grabado seco”. Carlos Álvarez Macías, INAOE, 2007.
“Caracterización de procesos de grabado seco de materiales para la fabricación de dispositivos CMOS”. Fernando Castillo Hernández, INAOE, 2008.
Doctorado
“Fabricación de dispositivo sensor del tipo InAsSb/GaSb para detección de contaminantes ambientales”. Delia Hurtado Castañeda, INAOE, en proceso.

Publicaciones Recientes:

S. Sepulveda-Guzman, B. Reeja-Jayan, E. De la Rosa, U. Ortiz-Mendez, C. Reyes-Betanzo, R. Cruz-Silva, M- Jose-Yacaman, “Room-temperature deposition of crystalline patterned ZnO films by confined dewetting lithography”, Applied Surface Science, 256(11), pp. 3386-3389, 2010.

R. Leal-Romero, I.E. Zaldivar-Huerta, J.A. Reynoso-Hernández, C. Reyes-Betanzo, M.C. Maya-Sánchez, y M. Aceves-Mijares, “Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares”, Revista Mexicana de Física, 56 (1), pp. 92–96, 2010.

C. Reyes-Betanzo y B.H. Lapizco-Encinas, “Fabricación de un microdispositivo para la
aplicación con dielectroforesis”,  Nanociencia et Moletrónica, 7(2),  pp. 1389-1402, 2009.

R.C. Gallo-Villanueva, C.E. Rodríguez-López, R.I. Díaz-de-la-Garza, C. Reyes-Betanzo, B.H. Lapizco-Encinas, “DNA manipulation by means of insulator-based dielectrophoresis in the presence of a DC electric fields”, Electrophoresis, 30(24), pp. 4195-4205, 2009.

Javier L. Baylon-Cardiel, Blanca H. Lapizco-Encinas, Claudia Reyes-Betanzo, Ana V. Chávez-Santoscoy, Sergio O. Martínez-Chapa, “Prediction of trapping zones in an insulator-based dielectrophoretic device”, Lab on a Chip, 9 (20), pp. 2896-2901, 2009.

Sandra Ozuna-Chacón, Blanca H. Lapizco-Encinas, Marco Rito-Palomares, Sergio O. Martínez-Chapa, Claudia Reyes-Betanzo, "Performance characterization of an insulator-based dielectrophoretic microdevice”, Electrophoresis, 29(15), pp. 3115-3122, 2008.

Germán Alvarado Tenorio, Claudia Reyes Betanzo, Selene Sepúlveda Guzmán, Vivechana Agarwal y Rodolfo Cruz Silva, “Depósito de películas de polianilina en patrones mediante polimerización in situ confinada en capilares”, Ingenierias, XI(39), pp. 8 – 14, 2008.

C. Alvarez-Macias, C., C. Reyes-Betanzo, “Procesos de grabado seco de silicio monocristalino con alta velocidad de grabado y anisotropía para su aplicación en la fabricación de MEMS”, Revista Mexicana de Física, 53(6),  pp. 488-494, 2007.

C. Zuñiga-I, A.I.Kosarev, A.Torres-J, C.Reyes-Betanzo, W.Calleja-A, P.Rosales Q., “Electrical characterization of a-C:H as insulator material in MIM structures”,Electrochemical Society Transactions, 9(1), pp. 259 – 267, 2007.