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Laboratorio para Manufactura de MEMS a Pequeña Escala

Este laboratorio permitirá la fabricación en pequeña escala de dispositivos semiconductores, sensores, MEMS y Circuitos Integrados con la tecnología y materiales desarrollados en el LIMEMS. Se ha iniciado ya la construcción de la nave que albergará este laboratorio, la cual tendrá un área útil de 2000 m2 de área clase 10 o menor. Este laboratorio está diseñado bajo el esquema “Ball room”, con un área dedicada a metrología de 200 m2, la estructura de soporte para los equipos de fabricación está diseñada y construida para el aislamiento de vibraciones (máximo 3–5 µm/seg en frecuencias de 10–80Hz), y cuenta con espacios dedicados a pulido químico-mecánico de obleas de silicio así como de servicios generales. Se espera que el área limpia total de este laboratorio tenga la capacidad de producir al menos 500 obleas de 6” de diámetro por mes en una jornada única diaria. La tecnología de fabricación utilizada será BiCMOS con una dimensión mínima de 0.35 µm, por lo que se espera obtener dispositivos y sistemas electrónicos más inteligentes, rápidos y con mejores características generales de desempeño. Una visión artística del LMMPE se muestra a continuación.

Proyección artística del LMMPE.


Diseño arquitectónico a partir de vistas laterales y cortes transversales del LMMPE.


Vista superior del diseño del LMMPE.

Estado actual de avance del LMMPE

A la fecha se ha terminado la cimentación del área limpia y las paredes principales. El terreno done se construye tiene una área total de 2.3 Haz y se localiza en Tonantzintla, Puebla, muy cerca del campus del INAOE. Para la construcción de este edificio se ha contado con el siguiente financiamiento:

Fuente

Cantidad (pesos)

Secretaría de Economía

13 459 810.00

Gobierno del estado de Puebla

12 500 000.00

INAOE

2 442 606.00

Total

28 402 416.00


Estado actual de la cimentación del LMMPE.

Se continúa trabajando hacia la formación de un consorcio Gobierno–Industria-Academia para el financiamiento de la terminación de este laboratorio que tiene un costo estimado de 30 millones de dólares americanos.

Informes y contacto:

Dr. Alfonso Torres Jácome
atorres@inaoep.mx


Última modificación :
16-04-2010 a las 21:44 por Joel Molina

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