inaoe.edu.mx
Asignar puntaje:
 

PolyMEMS–INAOE

El proceso PolyMEMS–INAOE se ha desarrollado para la fabricación de micro-estructuras usando Si policristalino (poly-Si) como material estructural. Una breve descripción del mismo es la siguiente: El proceso completo utiliza cinco materiales y nueve niveles de mascarillas; obleas de silicio cristalino con orientación (100) como soporte mecánico; dos niveles de materiales estructurales de poly-Si, uno fijo al sustrato utilizado como electrodo, y un nivel suspendido para la fabricación de monitores mecánicos, sensores y actuadores principalmente; se utiliza vidrio de fosfosilicato (PSG) como material de sacrificio (o soporte mecánico temporal), aluminio (Al) como material de interconexión eléctrica, y dióxido (SiO2) y nitruro (Si3N4) de silicio como aislantes eléctricos y para incrementar la selectividad. La siguiente tabla muestra los materiales utilizados en el proceso de fabricación PolyMEMS-INAOE:

 

Material

Función

Grosor [μm]

Mnemónico

SiO2

Aislante Eléctrico

0.1

óxido

Si3N4

Aislante Eléctrico

0.1

nitruro

poly-Si

Material Estructural 1

0.5

poly-Si 1

PSG

Soporte Mecánico Temporal  1

2.0

PSG 1

poly-Si

Material Estructural 2

2.0

poly-Si 2

PSG

Soporte Mecánico Temporal  2

1.5

PSG 2

poly-Si

Material Estructural 3

1.5

poly-Si 3

PSG

Dieléctrico

1.5

PSG 3

Al

Interconexión Eléctrica

3.5

metal

Entre los parámetros mecánicos de películas de silicio policristalino obtenidos mediante este proceso se pueden mencionar: i) esfuerzos residuales intrínsecos < ±20MPa, y ii) gradientes de esfuerzos residuales < ±10MPa/µm, los cuales se encuentran dentro del rango establecido en el estado del arte. Por otro lado se ha controlado la rugosidad de las películas de poly-Si para una mejor definición de estructuras con dimensiones menores a 5 µm.

Rugosidad obtenida con el proceso PolyMEMS–INAOE.

Microestructuras suspendidas obtenidas en este proceso.

Informes y contacto:

Dr. Wilfrido Calleja Arriaga
wcalleja@inaoep.mx


Última modificación :
16-04-2010 a las 21:47 por Joel Molina

MULTIMEDIA

Dirección: Luis Enrique Erro # 1, Tonantzintla, Puebla, México C.P. 72840 | Teléfono: (222) 247. 27.42 | Contacto: mcampos@inaoep.mx | Fax: 247.27.42

 

Esta obra está licenciada bajo una Licencia Creative Commons Atribución-No Comercial-Sin Obras Derivadas 2.5 México

Creative Commons License